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無塵潔凈氮氣柜
無塵潔凈氮氣柜適合半導(dǎo)體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象；由于大部分的存儲柜或者是氮氣柜設(shè)計都為全封閉環(huán)境，只控制濕度及氧含量濃度這塊，并無自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。榮仕達百級潔凈氮氣柜，內(nèi)外SUS304雙鏡面不銹鋼材質(zhì)，過濾等級CLASS 100/10.
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